台积电正加速安装对 2nm 工艺量产至关重要的 EUV 光刻机，计划今明两年接收超过 60 台，投资总额将超过 123 亿美元。ASML 公司预计到 2025 年，EUV 光刻机交付量将实现 30% 以上的显著增长，为满足市场需求已计划增产。然而，EUV 光刻机的供应目前仍面临紧张局面，交货周期通常在 16 至 20 个月之间。业界期待台积电能在今年内接收到最新的 High-NA EUV 光刻机，为其在高端芯片制造领域的竞争力再添助力。