英特尔已收到阿斯麦首批两台尖端光刻机，并在工厂投入生产。初步数据显示，这些高数值孔径（NA）光刻机的可靠性优于旧机型。在一个季度内，英特尔使用这些光刻机已生产 3 万片晶圆，用于制造数千枚计算芯片。