SK 海力士和三星电子正致力于新材料的开发和应用，计划在第六代 DRAM 生产中使用 Inpria 下一代金属氧化物光刻胶（MOR），这将是有机光刻胶的替代品，并有望提高 DRAM 性能和降低成本。两家公司均与 Inpria 合作，Inpria 作为日本 JSR 公司的子公司，在无机光刻胶领域具有领导地位。此外，美光在 1c DRAM 上仅应用了一层 EUV，而三星电子将应用 6 至 7 层。