2021 年 10 月 20 日
ASML 称,三季度,EUV 光刻机系统的订单量达到了 29 亿欧元,且当季的出货量和收入创下历史新高 … ASML 主力 EUV 光刻机是 TWINSCAN NXE:3600D,其在客户那里也达到了每小时加工 160 片晶圆的创纪录效率 … DUV(深紫外)光刻机方面,完成出货 1000 台 ArF(氟化氩浸没式光刻系统),这距离第一台浸没式光刻机(XT:1700Fi)出货过去了 15 年。
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