杭氧股份计划投资不超过 1.35 亿元设立全资子公司青岛杭氧经开电子气体有限公司，负责为物元半导体技术有限公司供应工业气体产品及服务。该公司注册资本金为 3300 万元，将使用公司自有资金出资。