4 月 2 日
SK 海力士与 TEMC 合作开发了业界首个氖气回收技术,可节省 400 亿韩元,缓解地缘政治环境下稀有气体供应紧张问题。该技术通过收集和选择性分离半导体光刻工艺后的氖气,再进行纯化重新供应,整体回收率可达 72.7%。此举还有助于降低碳排放。
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SK 海力士与 TEMC 合作开发了业界首个氖气回收技术,可节省 400 亿韩元,缓解地缘政治环境下稀有气体供应紧张问题。该技术通过收集和选择性分离半导体光刻工艺后的氖气,再进行纯化重新供应,整体回收率可达 72.7%。此举还有助于降低碳排放。